製品・設備

製品紹介

試験機からステージ、治具を含めた生産ラインのシステムアップまで、お客様の用途に合わせて幅広いご要望にお応えします。

弊社製品は、半導体レーザを標準として採用しています。
半導体レーザには

  • 近赤外の波長域(940 nm)を持ち、発振効率が非常に良い。
  • 他のレーザより比較的低コストである。

などの特徴があります。

超精密位置決めステージ

小型から大型まで用意されたさまざまなステージコンポーネンツから、お客様のご要望に合わせて最適なものを選択し、ステージを組み上げます。

エアスライダー超精密ステージ

リニアモータ駆動でエアベアリングを採用しています。加工点が低く、角度変化を最小限に抑制できます。マグネットムーブ採用により、移動負荷を極限まで低減しました。要求される耐摩耗性や温度変化に対応するため、セラミック素材も選択可能です。


X軸Y軸
ストローク100mm100mm
駆動方式リニアモータリニアモータ
ガイドエアペアリングエアペアリング
スケールリニアスケールリニアスケール
スケール分解能0.01μm0.01μm
繰り返し位置決め精度±80nm以下±80nm以下
最高速度10mm/sec10mm/sec
真直度1μm以下1μm以下
エアスライダー超精密ステージ



精密Z軸ステージ

Wテーパスライド採用とテーパ部キサゲ加工により、上下動での真直・平面度誤差を低減します。上下ガイド部にエアバランサーを組み込んだことで負荷重量に適した設定が可能となり、モータ負荷の軽減、スムーズな動作を実現しました。

仕様・精度
移動量 10mm 分解能 0.1μm/パルス
テーブル面 280mm × 280mm 最高速度 5mm/sec
駆動方式 リニアモータ 累積位置決め精度 3μm
移動ガイド 転がり案内方式 繰り返し位置決め精度 ±0.5μm
ステージ材質 アルミ-アルマイト処理 耐荷重 100N
質量 20kg ピッチング 4sec
リミットセンサ あり ヨーイング 4sec
原点センサ あり 真直度 2μm
精密Z軸ステージ
精密Z軸ステージ



縦型ステージ

コストパフォーマンスに優れ、フットプリントが小さい省スペースタイプです。リニアモータ採用により、発塵が抑えられています。
FPD用大型マスク検査、リペア用に最適です。

縦型ステージ ※現物なし



レーザ汎用加工ステージ

高剛性な汎用ステージNC制御(6軸制御で3軸同時制御)です。回転軸の位置割り出し機能、テールストック機能が実装されています。

上記は一例です。この他にもご要望に合わせたステージが、製作可能です。


レーザ汎用加工ステージ ※現物なし


治具

レーザ樹脂溶着の成否に大きく影響する治具の製作も承っています。

サンプルの形状によって、汎用的なクランプ治具に加えて回転型の治具なども作成いたします。

形状や大きさなど、お気軽にご相談ください。


クランプ治具 

クランプ治具 

回転治具

回転治具